Studium piezoelektrických tenkých vrstev
Title Alternative:Study of piezoelectric thin films
Loading...
Date
2009
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Technická Univerzita v Liberci
Abstract
Piezoelektrické tenké vrstvy jsou měřeny dvoupaprskovým laserovým interferometrem. Vrstvy jsou naneseny vysokofrekvenčním naprašováním. Naměřené frekvenční a předpěťové závislosti piezoelektrického a elektrostrikčního koeficientu jsou konzultovány.
Description
katedra: MTI; přílohy: 1 CD ROM; rozsah: 59 s., 10 s. obr. příloh
Subject(s)
piezoelectric thin films, double beam interferometer, piezoelectric effect, electrostriction effect, piezoelektrické tenké vrstvy, dvoupaprskový laserový interferometr, piezoelektrický jev, elektrostrikční jev