Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS
Title Alternative:Production of thin ferroelectric PZT layers by IBS method
Loading...
Date
2016
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Technická Univerzita v Liberci
Abstract
Tato práce přináší ucelený přehled problematiky depozice tenkých vrstev PZT z keramického terče se složením Pb(Zr0,52Ti0,48)O3, metodou IBS a IBAD. Je zaměřena na získání požadovaných vlastností PZT vhodnou kombinací depozičních a post-depozičních parametrů, přičemž je kladen důraz na limity iontových zdrojů pro získání krystalické struktury perovskitového typu.
 Charakterizace naprášených vrstev se provádí na dvou substrátech. Optické sklo BK7 je použito pro přesnější určení tloušťky vrstev, indexu lomu, extinkčního koeficientu, hodnot přímého a nepřímého zakázaného pásu, zatímco leštěný křemíkový substrát je použit pro potřeby post-depozičního žíhání, preciznějšího určení chemického složení (poměru prvků) a klasifikaci krystalické struktury. Je zkoumán vliv depozičních parametrů (výkon primárního iontového zdroje, energie iontů asistenčního iontového zdroje, depoziční teplota, průtoky plynů argonu a kyslíku) a tří různých typů konvenčního žíhání (teplotních gradientů) na výsledné vlastnosti vrstev. Dále je ukázáno, jak titanová mezivrstva ovlivňuje proces krystalizace. Práce se snaží vysvětlit jevy, které nastávají během depozičního a žíhacího procesu při různých procesních parametrech. Na závěr jsou shrnuty výsledky, stanoveny hranice, které omezují použitelnost zkoumaných depozičních technik, představena doporučená nastavení procesních parametrů a navrhnuty další postupy vhodné pro zlepšení procesu krystalizace PZT.
Description
79 stran, 3 strany příloh :tabulky, grafy +1 CD-ROM
Subject(s)
thin films, ferroelectric materials, tenké vrstvy, feroelektrické materiály