Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS

Title Alternative:Production of thin ferroelectric PZT layers by IBS method
dc.contributor.advisorVápenka, David
dc.contributor.authorHlubuček, Jiří
dc.date2016
dc.date.accessioned2016-11-08
dc.date.available2016-11-08
dc.date.defense2016-06-14
dc.date.issued2016
dc.degree.levelmgrcs
dc.description79 stran, 3 strany příloh :tabulky, grafy +1 CD-ROMcs
dc.description.abstractTato práce přináší ucelený přehled problematiky depozice tenkých vrstev PZT z keramického terče se složením Pb(Zr0,52Ti0,48)O3, metodou IBS a IBAD. Je zaměřena na získání požadovaných vlastností PZT vhodnou kombinací depozičních a post-depozičních parametrů, přičemž je kladen důraz na limity iontových zdrojů pro získání krystalické struktury perovskitového typu.
 Charakterizace naprášených vrstev se provádí na dvou substrátech. Optické sklo BK7 je použito pro přesnější určení tloušťky vrstev, indexu lomu, extinkčního koeficientu, hodnot přímého a nepřímého zakázaného pásu, zatímco leštěný křemíkový substrát je použit pro potřeby post-depozičního žíhání, preciznějšího určení chemického složení (poměru prvků) a klasifikaci krystalické struktury. Je zkoumán vliv depozičních parametrů (výkon primárního iontového zdroje, energie iontů asistenčního iontového zdroje, depoziční teplota, průtoky plynů argonu a kyslíku) a tří různých typů konvenčního žíhání (teplotních gradientů) na výsledné vlastnosti vrstev. Dále je ukázáno, jak titanová mezivrstva ovlivňuje proces krystalizace. Práce se snaží vysvětlit jevy, které nastávají během depozičního a žíhacího procesu při různých procesních parametrech. Na závěr jsou shrnuty výsledky, stanoveny hranice, které omezují použitelnost zkoumaných depozičních technik, představena doporučená nastavení procesních parametrů a navrhnuty další postupy vhodné pro zlepšení procesu krystalizace PZT.cs
dc.formattext
dc.identifier.signatureV 30/16 M
dc.identifier.urihttps://dspace.tul.cz/handle/15240/19184
dc.language.isocs
dc.publisherTechnická Univerzita v Libercics
dc.relation.isreferencedbyhttp://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=33319&typ=1
dc.relation.isreferencedbyhttp://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=33319&typ=2
dc.relation.isreferencedbyhttp://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=33319&typ=3
dc.source.urihttp://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=33319
dc.subjectthin filmsen
dc.subjectferroelectric materialsen
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectferoelektrické materiálycs
dc.subject.verbistenké vrstvycs
dc.titlePříprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBScs
dc.title.alternativeProduction of thin ferroelectric PZT layers by IBS methoden
dc.typeThesis
local.departmentMTIcs
local.facultyFakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiícs
local.identifier.stag33319
local.identifier.verbiskpw06520898
local.note.administratorsoprava_B
local.verbis.aktualizace2019-10-05 07:28:27cs
local.verbis.studijniprogramMTI Nanotechnologie/Nanomateriálycs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 4 of 4
Loading...
Thumbnail Image
Name:
DP+-+Hlubucek.pdf
Size:
4.25 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
kvalifikační práce
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Hlubucek_PO.pdf
Size:
534.66 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek_oponenta_VSKP
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Hlubucek_PV.pdf
Size:
472.12 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek_vedouciho_VSKP
Loading...
Thumbnail Image
Name:
2_Hlubucek_PPO.pdf
Size:
285 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Prubeh_obhajoby_VSKP