Interferometrické metody pro měření topografie povrchu

Simple item page
dc.contributorLédl Vít, Ing. Ph.D.
dc.contributor.advisorPsota Pavel, Ing. Ph.D.
dc.contributor.authorMach, Marek
dc.contributor.otherSkolitel : 55317 Olehla Miroslav, prof. Ing. CSc.
dc.contributor.otherKonzultant : 55356 Beran Jaroslav, prof. Ing. CSc.
dc.contributor.otherKonzultant2 : 65246 Matarazzo Dominika, Mgr.
dc.date2017
dc.date.accessioned2018-05-03
dc.date.available2018-05-03
dc.date.committed2017-05-15
dc.date.defense2017-06-14
dc.date.submitted2016-10-20
dc.date.updated21.6.2017 9:09
dc.degree.levelIng.
dc.description.abstractTato diplomová práce se zabývá interferometrickými metodami pro měření topografie povrchu. V teoretické časti je nastíněn princip charakterizace povrchů. Dále jsou popsány vybrané metody charakterizace povrchů se zaměřením na nekontaktní optické metody. Poté byla popsána povaha a vlastnosti záření.V experimentální části jsou popsány elementy měřícího uskupení, tedy součásti optické soustavy a měřící přístroje. Dále byl rozebrán princip shromáždění a analytického vyhodnocení dat. Na vhodných vzorcích bylo provedeno měření a ověřena metodika interferometrie s řízenou změnou fáze, dvouvlnové interferometrie a interferometrie skenování vlnovou délkou s nastíněným principem vyhodnocení absolutní interferometrií. Výsledky měření zmíněných metod jsou porovnány a diskutovány.V této práci byla potvrzena vhodnost využití nekontaktních metod pro analýzu topografie povrchů. Interferometrické metody mají široké pole možnosti využití a dosahují vysoké přesnosti.cs
dc.description.abstractThis master thesis deals with interferometric methods for surface topography measurement. The issue of surfaces characterization principle is outlined in the theoretical part. Then selected methods for surface characterization, especially non-contact optical methods, were delineated. After that nature and properties light irradiation were described.The experimental part at first describes elements of measuring setup, ie optical components and measuring devices. Then the principle of data acquisition and analytical evaluation was summarized. Measurements of suitable samples with verified methods of phase-shifting interferometry, dual-wavelength interferometry and wavelength scanning interferometry with outlined principle of absolute interferometry evaluation were performed. The measuring results via mentioned methods were compared and discussed.In this work suitability of using non-contact methods for surface topography analysis was confirmed. Interferometric methods have a broad field of application and achieve high precision.en
dc.description.mark
dc.format84 s. (119 042 znaků)
dc.format.extentIlustrace DVD ROM
dc.identifier.urihttps://dspace.tul.cz/handle/15240/23491
dc.language.isocs
dc.relation.isbasedon[1] MALACARA, Daniel. Optical shop testing. 3rd ed. Hoboken, N.J.: Wiley-Interscience, c2007. ISBN 0471484040.
dc.relation.isbasedon[2] GROSS, Herbert. Handbook of optical systems. Weinheim: Wiley-VCH, 2005. ISBN 9783527403813.
dc.rightsVysokoškolská závěrečná práce je autorské dílo chráněné dle zákona č. 121/2000 Sb., autorský zákon, ve znění pozdějších předpisů. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou https://knihovna.tul.cz/document/26cs
dc.rightsA university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act. https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics https://knihovna.tul.cz/document/26en
dc.rights.urihttps://knihovna.tul.cz/document/26
dc.rights.urihttps://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf
dc.subjecttopografie povrchucs
dc.subjectlaserové diodycs
dc.subjectinterferometrie s řízenou změnou fázecs
dc.subjectdvouvlná interferometriecs
dc.subjectinterferometrie skenování vlnovou délkoucs
dc.subjectabsolutní měření vzdálenostícs
dc.subjectsurface topographyen
dc.subjectlaser diodesen
dc.subjectphase-shifting interferometryen
dc.subjectdual-wavelength interferometryen
dc.subjectwavelength scanning interferometryen
dc.subjectabsolute distance measuringen
dc.subject.verbisinterferometriecs
dc.titleInterferometrické metody pro měření topografie povrchucs
dc.titleInterferometrical methods for surface topography measuringen
dc.title.alternativecs
dc.typediplomová prácecs
local.degree.disciplineNA-N
local.degree.programmeNanotechnologie
local.degree.programmeabbreviationN3942
local.department.abbreviationNTI
local.facultyFakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiícs
local.faculty.abbreviationFM
local.identifier.stag35214
local.identifier.verbiskpw06537178
local.note.administratorsautomat
local.verbis.aktualizace2019-10-05 07:28:25cs
local.verbis.studijniprogramNTI Nanotechnologie/Nanomateriálycs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 4 of 4
Thumbnail Image
Name:
Diplomova_prace_2017_Marek_Mach.pdf
Size:
21.56 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
VSKP
Download
Thumbnail Image
Name:
Mach__posudek_vedouciho.pdf
Size:
573.43 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek_vedouciho_VSKP
Download
Thumbnail Image
Name:
Mach__posudek_oponenta.pdf
Size:
807.63 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek_oponenta_VSKP
Download
Thumbnail Image
Name:
DP_Mach_obhajoba.pdf
Size:
259.57 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Prubeh_obhajoby_VSKP
Download
Collections
Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií
Cena Jiřího Zelenky