dc.contributor.advisor	Kolář, Milan
dc.contributor.author	Žanta, Marek
dc.date	2011
dc.date.accessioned	2015-06-30
dc.date.available	2015-06-30
dc.date.committed	2011-05-20
dc.date.defense	2011-06-21
dc.date.issued	2011
dc.date.submitted	2010-10-15
dc.degree.level	mgr	cs
dc.description	katedra: MTI; rozsah: 104 s. (130 045 znaků)	cs
dc.description.abstract	Cílem práce je návrh a realizace měřicí karty sloužící pro měření tloušťky napařovaných tenkých vrstev kovů ve vakuové komoře. Metoda měření je založena na principu poklesu frekvence oscilátoru řízeného krystalem, na nějž dopadá napařovaná vrstva, tzv. dynamické vážení kmitajícím křemenným krystalem. Pokles frekvence je zaznamenán a zpracován měřicí kartou řízenou hradlovým polem FPGA Lattice. Popis chování měřicí karty (FPGA obvodu), vypočítávající přesnou hodnotu frekvence oscilátoru, je psán programovacím jazykem VHDL. FPGA obvod dále zajišťuje komunikaci měřicí karty s programovatelným logickým automatem Omron, který řídí celý napařovací proces. Samotný návrh je založen na vývoji a tvorbě schématu, desky plošného spoje měřicí karty a programovém vybavení FPGA pro výpočet a komunikaci, včetně programu pro programovatelný logický automat Omron, který zajišťuje řízení procesu na základě příchozích naměřených dat. Realizace se zabývá především osazením, implementací měřicí karty do napařovacího procesu a zprovozněním měření a komunikace karty.	cs
dc.description.abstract	The aim of this Work is design and realization measuring card, that make of for thickness measurement of thin metal overlay in vacuum chamber. Measurement method is based on fall-of in frequency quartz oscillator. At the quartz oscillator impact the thin metal overlay, so be called method as dynamic weighting with oscillating quartz crystal. Fall-of in frequency is recording and working of the measuring card, that is of geared with FPGA Lattice. Software for calculation of exact value oscillator frequency is created in programming language VHDL. Part of software is communication measuring card with programmable logic controller Omron, that control of all steaming procedure. Design is based on development and production of schematic layout, PCB and software FPGA for calculation and communication, including program for programmable logic controller, that control of steaming procedure be based on input measuring data. To a realization belongs to above all complement of measuring card, implementation to the measuring procedure and launching measurement and card communication.	en
dc.format	text
dc.identifier.uri	https://dspace.tul.cz/handle/15240/10803
dc.language.iso	cs
dc.publisher	Technická Univerzita v Liberci	cs
dc.subject	vakuové napařování tenkých vrstev	cs
dc.subject	oscilátor řízený krystalem	cs
dc.subject	fpga	cs
dc.subject	jazyk vhdl	cs
dc.subject	plc omron	cs
dc.subject	vapour deposition thickness measurement	en
dc.subject	quartz oscillator	en
dc.subject	fpga	en
dc.subject	programmable language vhdl	en
dc.subject	plc omron	en
dc.subject.verbis	thin films	en
dc.title	Měření tloušťky napařované vrstvy	cs
dc.title.alternative	Deposition layer thickness measurement	en
dc.type	Thesis
local.department	MTI	cs
local.faculty	Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií	cs
local.identifier.stag	20291
local.identifier.verbis	451981
local.note.administrators	oprava_A
local.verbis.aktualizace	2019-10-05 06:14:15	cs
local.verbis.studijniprogram	MTI Elektrotechnika a informatika/Mechatronika	cs

Měření tloušťky napařované vrstvy

Title Alternative:Deposition layer thickness measurement

Files

Original bundle

Collections