Měření tloušťky napařované vrstvy
Title Alternative:Deposition layer thickness measurement
Loading...
Date
2011
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Technická Univerzita v Liberci
Abstract
Cílem práce je návrh a realizace měřicí karty sloužící pro měření tloušťky napařovaných tenkých vrstev kovů ve vakuové komoře. Metoda měření je založena na principu poklesu frekvence oscilátoru řízeného krystalem, na nějž dopadá napařovaná vrstva, tzv. dynamické vážení kmitajícím křemenným krystalem. Pokles frekvence je zaznamenán a zpracován měřicí kartou řízenou hradlovým polem FPGA Lattice. Popis chování měřicí karty (FPGA obvodu), vypočítávající přesnou hodnotu frekvence oscilátoru, je psán programovacím jazykem VHDL. FPGA obvod dále zajišťuje komunikaci měřicí karty s programovatelným logickým automatem Omron, který řídí celý napařovací proces. Samotný návrh je založen na vývoji a tvorbě schématu, desky plošného spoje měřicí karty a programovém vybavení FPGA pro výpočet a komunikaci, včetně programu pro programovatelný logický automat Omron, který zajišťuje řízení procesu na základě příchozích naměřených dat. Realizace se zabývá především osazením, implementací měřicí karty do napařovacího procesu a zprovozněním měření a komunikace karty.
The aim of this Work is design and realization measuring card, that make of for thickness measurement of thin metal overlay in vacuum chamber. Measurement method is based on fall-of in frequency quartz oscillator. At the quartz oscillator impact the thin metal overlay, so be called method as dynamic weighting with oscillating quartz crystal. Fall-of in frequency is recording and working of the measuring card, that is of geared with FPGA Lattice. Software for calculation of exact value oscillator frequency is created in programming language VHDL. Part of software is communication measuring card with programmable logic controller Omron, that control of all steaming procedure. Design is based on development and production of schematic layout, PCB and software FPGA for calculation and communication, including program for programmable logic controller, that control of steaming procedure be based on input measuring data. To a realization belongs to above all complement of measuring card, implementation to the measuring procedure and launching measurement and card communication.
The aim of this Work is design and realization measuring card, that make of for thickness measurement of thin metal overlay in vacuum chamber. Measurement method is based on fall-of in frequency quartz oscillator. At the quartz oscillator impact the thin metal overlay, so be called method as dynamic weighting with oscillating quartz crystal. Fall-of in frequency is recording and working of the measuring card, that is of geared with FPGA Lattice. Software for calculation of exact value oscillator frequency is created in programming language VHDL. Part of software is communication measuring card with programmable logic controller Omron, that control of all steaming procedure. Design is based on development and production of schematic layout, PCB and software FPGA for calculation and communication, including program for programmable logic controller, that control of steaming procedure be based on input measuring data. To a realization belongs to above all complement of measuring card, implementation to the measuring procedure and launching measurement and card communication.
Description
katedra: MTI; rozsah: 104 s. (130 045 znaků)
Subject(s)
vakuové napařování tenkých vrstev, oscilátor řízený krystalem, fpga, jazyk vhdl, plc omron, vapour deposition thickness measurement, quartz oscillator, fpga, programmable language vhdl, plc omron