Vliv podmínek plazmové depozice na užitné vlastnosti tenkých vrstev na bázi uhlíku
Title Alternative:Effect of plasma deposition conditions on useful properties of thin films based on carbon
Loading...
Date
2014
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Technická Univerzita v Liberci
Abstract
Tato bakalářská práce vznikla za účelem zjistit, jaké depoziční podmínky mají nejpříznivější vliv na užitné vlastnosti tenkých vrstev na bázi uhlíku. Práce se zabývá studiem DLC vrstev s mezivrstvou titanu a gradientem karbidu uhlíku. Tato práce je rozdělena na dvě hlavní části. V první části se zabývám teoretickými principy nanášení tenkých vrstev a obecnou charakteristikou tenké vrstvy. Poté jsem se zaměřil na charakteristiku samotného uhlíku a jeho alotropických modifikací. Blíže jsem se zabýval charakteristikou DLC (diamond like carbon - diamant podobný uhlíku) tenkých vrstev. V tom jsou zahrnuty jejich vlastnosti, druhy a jejich praktické aplikace. Na konec této části jsem uvedl i základní teoretické principy předdepozičních příprav vzorku.
 Druhá část práce pojednává o samotném experimentu a popisu experimentálního zařízení. Je zde také uveden popis přípravy vzorků a jejich stručná charakteristika. Má práce byla rozdělená na dvě fáze. V té první se na křemíkové destičky nanášel jen samotný titan, a to z důvodu, aby se zjistila jeho depoziční rychlost při různém předpětí. V té druhé fázi se už přešlo k depozici DLC vrstev s mezivrstvou titanu a gradientu karbidu titanu. V tomto případě se již deponovalo na ocelové vzorky. Obě fáze se realizovaly RF PACVD/MS metodou. V první řadě se na substrát nanesla mezivrstva titanu a poté gradientní vrstva karbidu uhlíku, a to z důvodu lepší přilnavosti konečné DLC vrstvy. Výsledné vrstvy se poté podrobily zkouškám nanotvrdosti, adheze, tribologie a také se změřila tloušťka. V úplném závěru této části došlo k porovnání jednotlivých vrstev z hlediska jejich vlastností. Poté došlo k zhodnocení a vybrání nejvhodnější vrstvy pro další praktické využití.
Description
63 s. :obr., tab., grafy +CD ROM
Subject(s)
thin films, carbon, tenké vrstvy, uhlík