Vliv podmínek plazmové depozice na užitné vlastnosti tenkých vrstev na bázi uhlíku

Title Alternative:Effect of plasma deposition conditions on useful properties of thin films based on carbon
Simple item page
dc.contributor.advisorLouda, Petr
dc.contributor.authorCícha, Ivan
dc.date2014
dc.date.accessioned2016-07-26
dc.date.available2016-07-26
dc.date.defense2014-06-17
dc.date.issued2014-01-01
dc.degree.levelbc
dc.description63 s. :obr., tab., grafy +CD ROMcs
dc.description.abstractTato bakalářská práce vznikla za účelem zjistit, jaké depoziční podmínky mají nejpříznivější vliv na užitné vlastnosti tenkých vrstev na bázi uhlíku. Práce se zabývá studiem DLC vrstev s mezivrstvou titanu a gradientem karbidu uhlíku. Tato práce je rozdělena na dvě hlavní části. V první části se zabývám teoretickými principy nanášení tenkých vrstev a obecnou charakteristikou tenké vrstvy. Poté jsem se zaměřil na charakteristiku samotného uhlíku a jeho alotropických modifikací. Blíže jsem se zabýval charakteristikou DLC (diamond like carbon - diamant podobný uhlíku) tenkých vrstev. V tom jsou zahrnuty jejich vlastnosti, druhy a jejich praktické aplikace. Na konec této části jsem uvedl i základní teoretické principy předdepozičních příprav vzorku.
 Druhá část práce pojednává o samotném experimentu a popisu experimentálního zařízení. Je zde také uveden popis přípravy vzorků a jejich stručná charakteristika. Má práce byla rozdělená na dvě fáze. V té první se na křemíkové destičky nanášel jen samotný titan, a to z důvodu, aby se zjistila jeho depoziční rychlost při různém předpětí. V té druhé fázi se už přešlo k depozici DLC vrstev s mezivrstvou titanu a gradientu karbidu titanu. V tomto případě se již deponovalo na ocelové vzorky. Obě fáze se realizovaly RF PACVD/MS metodou. V první řadě se na substrát nanesla mezivrstva titanu a poté gradientní vrstva karbidu uhlíku, a to z důvodu lepší přilnavosti konečné DLC vrstvy. Výsledné vrstvy se poté podrobily zkouškám nanotvrdosti, adheze, tribologie a také se změřila tloušťka. V úplném závěru této části došlo k porovnání jednotlivých vrstev z hlediska jejich vlastností. Poté došlo k zhodnocení a vybrání nejvhodnější vrstvy pro další praktické využití.cs
dc.formattext
dc.identifier.signatureV 50/14 Mb
dc.identifier.urihttps://dspace.tul.cz/handle/15240/16716
dc.language.isocs
dc.publisherTechnická Univerzita v Libercics
dc.relation.isreferencedbyhttp://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=28296&typ=1
dc.relation.isreferencedbyhttp://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=28296&typ=2
dc.relation.isreferencedbyhttp://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=28296&typ=3
dc.source.urihttp://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=28296
dc.subjectthin filmsen
dc.subjectcarbonen
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectuhlíkcs
dc.subject.verbisuhlíkcs
dc.titleVliv podmínek plazmové depozice na užitné vlastnosti tenkých vrstev na bázi uhlíkucs
dc.title.alternativeEffect of plasma deposition conditions on useful properties of thin films based on carbonen
dc.typeThesis
local.departmentKMTcs
local.facultyFakulta strojnícs
local.identifier.stag28296
local.identifier.verbis479748
local.note.administratorsoprava_A
local.verbis.aktualizace2019-10-05 05:56:31cs
local.verbis.studijniprogramKMT Nanotechnologie/Nanomateriálycs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 4 of 4
Thumbnail Image
Name:
C%C3%ADcha+Ivan+BP.pdf
Size:
3.64 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
kvalifikační práce
Download
Thumbnail Image
Name:
Dipl_28296.pdf
Size:
119.63 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
posudek oponenta
Download
Thumbnail Image
Name:
Dipl_28296(1).pdf
Size:
72.81 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
posudek vedoucího
Download
Thumbnail Image
Name:
Dipl_28296(2).pdf
Size:
433.63 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
výsledek obhajoby
Download
Collections
Fakulta strojní