Detekce a hodnocení poškození tenkých vrstev z rozptylu laserového záření
Loading...
Date
2025-01-28
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Diplomová práce se zabývá vytvořením měřicího systému, který bude schopen detekovat poškození a anomálie na optických tenkých vrstvách. Systém je založen na principu detekce rozptylu světla z abnormalit povrchu tenkých vrstev pomocí laserové diody a fotodiody. Měřicí soustava je ovládaná mikrokontrolerem Arduino, které sbírá a přeposílá naměřená data do počítače skrze sériový port pro jejich zpracování ve skriptu v jazyce MATLAB. Součástí práce je i vytvořená dokumentace a aplikace pro vizualizaci aktuálně přijímaných dat a ovládání soustavy mimo příkazový řádek. Měřicí systém byl po sestavení podroben testům měření vzorků nepoškozených, poškozených LIDT experimentem a poškozených environmentálními testy. Pro potvrzení výsledků, byly poškozené tenké vrstvy alternativně charakterizovány pomocí přístrojů WLI a AFM. Práce také obsahuje popis výroby mechanické závěrky pro ovládání laserového svazku.
This diploma thesis deals with creation of measurement system capable of detecting damage and anomalies on optical thin layers. System operates on principle of light scattering detection from surface abnormalities by a laser diode and a photodiode. Measurement system is controlled by an Arduino microcontroller, which collects and transmits measured data to PC via serial port to be processed by a script in MATLAB programming language. Part of this thesis is created documentation and application for visualization of real-time incoming data and to control system outside of command line interface. Measurement system was after construction tested on undamaged samples, samples damaged by LIDT experiment and samples damaged by environmental tests. For result confirmation were damaged thin films alternatively characterised by WLI and AFM devices. Thesis also includes description of manufacturing mechanical shutter for laser beam control.
This diploma thesis deals with creation of measurement system capable of detecting damage and anomalies on optical thin layers. System operates on principle of light scattering detection from surface abnormalities by a laser diode and a photodiode. Measurement system is controlled by an Arduino microcontroller, which collects and transmits measured data to PC via serial port to be processed by a script in MATLAB programming language. Part of this thesis is created documentation and application for visualization of real-time incoming data and to control system outside of command line interface. Measurement system was after construction tested on undamaged samples, samples damaged by LIDT experiment and samples damaged by environmental tests. For result confirmation were damaged thin films alternatively characterised by WLI and AFM devices. Thesis also includes description of manufacturing mechanical shutter for laser beam control.
Description
Subject(s)
LIDT, tenké vrstvy, detekce rozptylu laserového paprsku, optika, Arduino, MATLAB