Depozice a charakterizace gradientních tenkých vrstev pro optické pokrytí

DSpace Repository

Show simple item record

dc.contributor Kůsová Kateřina, RNDr. Ph.D. : 67158
dc.contributor.advisor Žídek Karel, RNDr. Ph.D. : 65590
dc.contributor.author Kanclíř, Vít
dc.date.accessioned 2020-09-23T10:00:49Z
dc.date.available 2020-09-23T10:00:49Z
dc.date.submitted 2019-10-9
dc.identifier.uri https://dspace.tul.cz/handle/15240/157767
dc.description.abstract Diplomová práce se zabývá tenkými gradientními vrstvami SiOxNy s gradientnímprofilem indexu lomu vytvořenými metodou iontového naprašování (Ion Beam Sputtering) s iontovou asistencí.Teoretická část uvádí do tématiky interference na tenké vrstvě, depozice tenkých vrstev a jejího monitoringu. Dále se zabývá shrnutím dosavadních poznatků v tématu gradientních tenkých vrstev, jejich využití a jejich charakterizace.V experimentální části byla na homogenních vrstvách určena závislost indexulomu deponované vrstvy na průtoku kyslíku asistenčním iontovým dělem. Pro účelyvyhodnocení byl vytvořen skript v MATLAB na fitování modelových elipsometrických a spektrofotometrických spekter do experimentálně změřených spekter. V návaznosti byly deponovány gradientní vrstvy s dvěma různými profily indexu lomu, kde gradient indexu lomu ve vrstvách byl tvořen změnou průtoku kyslíku asistenčním dělem. Porovnání teoretických a experimentálních spekter prokázalo, že vzniklý profil odpovídá průtoku kyslíku v průběhu depozice. Diskutována byla i citlivost výsledků na posunu hodnot profilu indexu lomu při zachování jeho tvaru. Na základě získaných poznatků byly úspěšně deponovány dva úzkopásmové rugate filtry. Jejich výsledná reflektance byla porovnána s očekávanou a byly diskutovány možnosti optimalizace celého procesu. cs
dc.description.abstract The thesis is devoted to gradient refractive index thin films of SiOxNy deposited by ion-beam sputtering combined with ion assistance.The theoretical part of the thesis consists of an introduction to thin-film interference, deposition and monitoring of thin films. It summarizes the state-of-the-art knowledge of the field of gradient thin-film deposition and characterization. The experimental part of the thesis consists of three sections. In the first one, we studied the effect of the flow of oxygen through the assistance ion source on optical properties of a homogeneous thin layer. The acquired experimental data were fitted with a theoretical model in terms of their ellipsometric and spectrophotometric properties by using MATLAB. Subsequently in the second section, two gradient films, each with a different profile of refractive index, were sputtered. The gradient of the refractive index was created by varying the oxygen flow. Comparison of the simulated and experimental spectra has proven that the deposited thin-film profiles agrees with the expected refractive index change corresponding to the oxygen flowduring the deposition. The sensitivity of the fitting to the offset of the refractive-index profile was discussed. On the basis of the findings, two narrow-band rugate filters were succesfully fabricated. Their reflectivity was compared with the expected one. Finally, we discuss possible options of the process optimization. en
dc.format 57
dc.format.extent -
dc.language.iso cs
dc.relation.isbasedon [1] PIEGARI, Angela; FLORY, François (ed.). Optical thin films and coatings: From materials to applications. Woodhead Publishing, 2018.
dc.relation.isbasedon [2] STENZEL, Olaf, et al. Mixed oxide coatings for optics. Applied optics, 2011, 50.9: C69-C74.
dc.relation.isbasedon [3] MACLEOD, H. Angus; MACLEOD, H. Angus.~Thin-film optical filters. CRC press, 2010.
dc.rights Vysokoškolská závěrečná práce je autorské dílo chráněné dle zákona č. 121/2000 Sb., autorský zákon, ve znění pozdějších předpisů. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou https://knihovna.tul.cz/document/26 cs
dc.rights A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act. https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics https://knihovna.tul.cz/document/26 en
dc.rights.uri https://knihovna.tul.cz/document/26
dc.rights.uri https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf
dc.subject Ion Beam Sputtering cs
dc.subject Ion Beam Assisted Deposition cs
dc.subject SiOxNy cs
dc.subject optická tenká vrstva cs
dc.subject gradientní profil indexu lomu cs
dc.subject rugate filter cs
dc.subject Ion Beam Sputtering en
dc.subject Ion Beam Assisted Deposition en
dc.subject SiOxNy en
dc.subject optical thin film en
dc.subject refractive-index gradient profile en
dc.subject rugate filter en
dc.title Depozice a charakterizace gradientních tenkých vrstev pro optické pokrytí cs
dc.title Depositon and characterization of gradient thin films for optical coating en
dc.type diplomová práce cs
dc.date.updated 2020-7-1
dc.degree.level Ing.
dc.date.defense 2020-07-01
dc.date.committed 2020-5-18
local.faculty Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií cs
local.department.abbreviation NTI
dc.identifier.signature V 202002127
local.identifier.stag 40366
local.degree.programme Aplikované vědy v inženýrství
local.degree.discipline AVI-N
local.faculty.abbreviation FM
dc.description.mark
local.degree.programmeabbreviation N3901
local.note.administrators automat
local.identifier.verbis
local.identifier.verbis kpw06667696
local.degree.abbreviation Navazující
local.poradovecislo 2127
local.identifier.author M18000174
local.note.secrecy Povoleno ZverejnitPraci Povoleno ZverejnitPosudky


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace

Advanced Search

Browse

My Account