dc.contributor	Kůsová Kateřina, RNDr. Ph.D. : 67158
dc.contributor.advisor	Žídek Karel, RNDr. Ph.D. : 65590
dc.contributor.author	Kanclíř, Vít
dc.date.accessioned	2020-09-23T10:00:49Z
dc.date.available	2020-09-23T10:00:49Z
dc.date.committed	2020-5-18
dc.date.defense	2020-07-01
dc.date.submitted	2019-10-9
dc.date.updated	2020-7-1
dc.degree.level	Ing.
dc.description.abstract	Diplomová práce se zabývá tenkými gradientními vrstvami SiOxNy s gradientnímprofilem indexu lomu vytvořenými metodou iontového naprašování (Ion Beam Sputtering) s iontovou asistencí.Teoretická část uvádí do tématiky interference na tenké vrstvě, depozice tenkých vrstev a jejího monitoringu. Dále se zabývá shrnutím dosavadních poznatků v tématu gradientních tenkých vrstev, jejich využití a jejich charakterizace.V experimentální části byla na homogenních vrstvách určena závislost indexulomu deponované vrstvy na průtoku kyslíku asistenčním iontovým dělem. Pro účelyvyhodnocení byl vytvořen skript v MATLAB na fitování modelových elipsometrických a spektrofotometrických spekter do experimentálně změřených spekter. V návaznosti byly deponovány gradientní vrstvy s dvěma různými profily indexu lomu, kde gradient indexu lomu ve vrstvách byl tvořen změnou průtoku kyslíku asistenčním dělem. Porovnání teoretických a experimentálních spekter prokázalo, že vzniklý profil odpovídá průtoku kyslíku v průběhu depozice. Diskutována byla i citlivost výsledků na posunu hodnot profilu indexu lomu při zachování jeho tvaru. Na základě získaných poznatků byly úspěšně deponovány dva úzkopásmové rugate filtry. Jejich výsledná reflektance byla porovnána s očekávanou a byly diskutovány možnosti optimalizace celého procesu.	cs
dc.description.abstract	The thesis is devoted to gradient refractive index thin films of SiOxNy deposited by ion-beam sputtering combined with ion assistance.The theoretical part of the thesis consists of an introduction to thin-film interference, deposition and monitoring of thin films. It summarizes the state-of-the-art knowledge of the field of gradient thin-film deposition and characterization. The experimental part of the thesis consists of three sections. In the first one, we studied the effect of the flow of oxygen through the assistance ion source on optical properties of a homogeneous thin layer. The acquired experimental data were fitted with a theoretical model in terms of their ellipsometric and spectrophotometric properties by using MATLAB. Subsequently in the second section, two gradient films, each with a different profile of refractive index, were sputtered. The gradient of the refractive index was created by varying the oxygen flow. Comparison of the simulated and experimental spectra has proven that the deposited thin-film profiles agrees with the expected refractive index change corresponding to the oxygen flowduring the deposition. The sensitivity of the fitting to the offset of the refractive-index profile was discussed. On the basis of the findings, two narrow-band rugate filters were succesfully fabricated. Their reflectivity was compared with the expected one. Finally, we discuss possible options of the process optimization.	en
dc.description.mark
dc.format	57
dc.format.extent	-
dc.identifier.signature	V 202002127
dc.identifier.uri	https://dspace.tul.cz/handle/15240/157767
dc.language.iso	cs
dc.relation.isbasedon	[1] PIEGARI, Angela; FLORY, François (ed.). Optical thin films and coatings: From materials to applications. Woodhead Publishing, 2018.
dc.relation.isbasedon	[2] STENZEL, Olaf, et al. Mixed oxide coatings for optics. Applied optics, 2011, 50.9: C69-C74.
dc.relation.isbasedon	[3] MACLEOD, H. Angus; MACLEOD, H. Angus.~Thin-film optical filters. CRC press, 2010.
dc.rights	Vysokoškolská závěrečná práce je autorské dílo chráněné dle zákona č. 121/2000 Sb., autorský zákon, ve znění pozdějších předpisů. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou https://knihovna.tul.cz/document/26	cs
dc.rights	A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act. https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics https://knihovna.tul.cz/document/26	en
dc.rights.uri	https://knihovna.tul.cz/document/26
dc.rights.uri	https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf
dc.subject	Ion Beam Sputtering	cs
dc.subject	Ion Beam Assisted Deposition	cs
dc.subject	SiOxNy	cs
dc.subject	optická tenká vrstva	cs
dc.subject	gradientní profil indexu lomu	cs
dc.subject	rugate filter	cs
dc.subject	Ion Beam Sputtering	en
dc.subject	Ion Beam Assisted Deposition	en
dc.subject	SiOxNy	en
dc.subject	optical thin film	en
dc.subject	refractive-index gradient profile	en
dc.subject	rugate filter	en
dc.title	Depozice a charakterizace gradientních tenkých vrstev pro optické pokrytí	cs
dc.title	Depositon and characterization of gradient thin films for optical coating	en
dc.type	diplomová práce	cs
local.degree.abbreviation	Navazující
local.degree.discipline	AVI-N
local.degree.programme	Aplikované vědy v inženýrství
local.degree.programmeabbreviation	N3901
local.department.abbreviation	NTI
local.faculty	Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií	cs
local.faculty.abbreviation	FM
local.identifier.author	M18000174
local.identifier.stag	40366
local.identifier.verbis
local.identifier.verbis	kpw06667696
local.note.administrators	automat
local.note.secrecy	Povoleno ZverejnitPraci Povoleno ZverejnitPosudky
local.poradovecislo	2127

Depozice a charakterizace gradientních tenkých vrstev pro optické pokrytí

Files

Original bundle

Collections