dc.contributor	Horodyská Petra, RNDr. Ph.D.
dc.contributor.advisor	Václavík Jan, Ing.
dc.contributor.author	Huťka, Jan
dc.contributor.other	Skolitel : 54965 Jáč Ivan, prof. Ing. CSc.
dc.contributor.other	Konzultant : 55790 Mokrý Pavel, prof. Ing. Ph.D.
dc.contributor.other	Konzultant2 : 65190 Škoda Václav, RNDr. CSc.
dc.date	2016
dc.date.accessioned	2018-05-03
dc.date.available	2018-05-03
dc.date.committed	2016-05-16
dc.date.defense	2016-06-14
dc.date.submitted	2015-10-10
dc.date.updated	24.6.2016 17:13
dc.degree.level	Ing.
dc.description.abstract	Předkládaná diplomová práce pojednává o přípravě tenkých vrstev hematitu (-Fe2O3) pro optické aplikace metodou vakuového napařování. Vybranou aplikací, popsanou v druhé části práce, byla realizace optických úzkopásmových filtrů typu Fabry-Perot. Experimenty byly realizovány na vakuovém napařovacím zařízením Bestec MC361 vybaveným iontovým asistenčním dělem (IBAD).Zdrojovým materiálem je čisté železo (Fe) a vybraným substrátem je optické sklo BK7. V práci jsou sumarizovány veškeré depoziční parametry pro vrstvy Fe2O3. Z těchto parametrů byly identifikovány průtok kyslíku a depoziční rychlost jako klíčové pro optické vlastnosti vrstvy. Vlastnosti vrstev jsou charakterizovány spektroskopickou elipsometrií a AFM mikroskopií, které poskytují informace o indexech lomu, extinčních koeficientech a mikrodrsnosti povrchu vrstev. Vlastnosti nejoptimálnější vrstvy jsou použity k vytvoření optických modelů tenké vrstvy hematitu. Tento model, v kombinaci s modelem nízko indexového materiálu SiO2, je použit pro návrhy designů úzkopásmových interferenčních filtrů typu Fabry-Perot.Diplomová práce dále popisuje proces vakuového napařování tří interferenčních filtrů podle navrhnutých designů a jejich analýzu, včetně zkoumání vnějších vlivů stárnutí a doplňkové oxidace na optické vlastnosti filtru.V samotném závěru je pak vyhodnocení získaných dat, experimentů a odlišností mezi navrženými designy úzkopásmových interferenčních filtrů s reálnými nápary.	cs
dc.description.abstract	The diploma thesis deals with the preparation of thin optical layers of hematite (-Fe2O3) for optical applications. The selected application, described in second part of the thesis, is an optical narrow-band Fabry-Perot filter. Experiments were realized on vacuum evaporating machine Bestec MC361 equipped by assistant ion beam gun (IBAD).Source material is a pure iron (Fe) on and optical glass BK7 was selected as a substrate. All parameters significant for Fe2O3 layers are presented. An oxygen flow rate and a deposition rate was identified as key parameters for optical properties of a deposited hematite layer. Properties of deposited layers are characterized by spectroscopic ellipsometry and AFM microscopy, which provides information about refractive indices, extinction coefficients and a micro-roughness of layers surfaces. The properties of the most optimal layer is used to create optical models of hematite layer. The model, in combination with the model of a low refractive index material SiO2, is used for designs of Fabry-Perot narrowband interference filters.The thesis further describes the process of vacuum deposition of three interference filters according to the proposed designs and analysis of their performance. The analysis include effects of artificial aging and additional oxidation.The evaluation of the acquired data, experiments, and the differences between the proposed designs of narrow band interference filters with deposited samples is provided at the end of thesis.	en
dc.description.mark
dc.format	85 s.
dc.format.extent	Ilustrace, Schémata, Grafy, Tabulky ROM 1 ROM
dc.identifier.uri	https://dspace.tul.cz/handle/15240/23735
dc.language.iso	cs
dc.relation.isbasedon	beginarab renewcommandlabelenumi[arabicenumi] item Macleod, Hugh Angus. Thin-film optical filters. CRC Press, 2001. item Freund, L. Benjamin, and Subra Suresh. Thin film materials: stress, defect formation and surface evolution. Cambridge University Press, 2004. endarab
dc.rights	Vysokoškolská závěrečná práce je autorské dílo chráněné dle zákona č. 121/2000 Sb., autorský zákon, ve znění pozdějších předpisů. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou https://knihovna.tul.cz/document/26	cs
dc.rights	A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act. https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics https://knihovna.tul.cz/document/26	en
dc.rights.uri	https://knihovna.tul.cz/document/26
dc.rights.uri	https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf
dc.subject	Hematit	cs
dc.subject	Fe2O3	cs
dc.subject	IBAD	cs
dc.subject	filtr Fabry-Perot	cs
dc.subject	spektroskopická elipsometrie	cs
dc.subject	AFM	cs
dc.subject	Hematit	en
dc.subject	Fe2O3	en
dc.subject	IBAD	en
dc.subject	the filtr Fabry-Perot	en
dc.subject	spectroscopic ellipsometry	en
dc.subject	AFM	en
dc.subject.verbis	filters (chemical technology)	en
dc.title	Tenkovrstvé optické filtry využívající vlastností vrstev Fedindex2Odindex3	cs
dc.title	Thin-film optical filters utilizing properties of Fedindex2Odindex3 layers	en
dc.title.alternative		cs
dc.type	diplomová práce	cs
local.degree.discipline	NA-N
local.degree.programme	Nanotechnologie
local.degree.programmeabbreviation	N3942
local.department.abbreviation	MTI
local.faculty	Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií	cs
local.faculty.abbreviation	FM
local.identifier.stag	33316
local.identifier.verbis	520897
local.note.administrators	automat
local.verbis.aktualizace	2019-10-05 06:09:46	cs
local.verbis.studijniprogram	MTI Nanotechnologie/Nanomateriály	cs

Tenkovrstvé optické filtry využívající vlastností vrstev Fedindex*2*Odindex*3*

Files

Original bundle

Collections

Tenkovrstvé optické filtry využívající vlastností vrstev Fedindex2Odindex3