Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností

dc.contributorKunc Štěpán, Ing. Ph.D. : 62113
dc.contributor.advisorPsota Pavel, Ing. Ph.D. : 61197
dc.contributor.authorSedláčková, Karolína
dc.date.accessioned2021-08-20T11:11:43Z
dc.date.available2021-08-20T11:11:43Z
dc.date.committed2021-5-17
dc.date.defense2021-06-17
dc.date.submitted2020-10-19
dc.date.updated2021-6-17
dc.degree.levelIng.
dc.description.abstractCílem práce bylo vyvinout simulační software, který zkoumá vliv vibrací na signál získaný z white-light interferometrie a aplikovat získané dovednosti ve vývoji vývoji nanopozičního měřícího zařízení pracujícího na výše zmíněném principu. Teoretická část je věnována popisu vlastností světla a popisu optických metod pro zkoumání topografie povrchu. Díky popsaným principům bylo možné zlepšit měřící zařízení a zvýšit jeho konkurenceschopnost.cs
dc.description.abstractThe aim of the thesis was to create a simulation tool inspecting the influence of vibration to evaluation signal obtained from white-light interferometry. The theoretical part is dedicated to introducing the properties of different illumination sources and describing optical methods for examining surface topography. The knowledge gained while working with the simulation tool was applied to the development of a nanopositioning measuring machine based on the white-light interferometry. The applied approaches led to improving the machine and increasing its competitiveness.en
dc.description.mark
dc.format66
dc.format.extent
dc.identifier.signatureV 202102986
dc.identifier.urihttps://dspace.tul.cz/handle/15240/160495
dc.language.isoan
dc.relation.isbasedonpar[1] MALACARA, D. Optical shop testing. 3rd ed. Hoboken, N.J.: Wiley-Interscience, c2007. ISBN 0471484040.
dc.relation.isbasedon[2] SALLEH, B. E. A. , TEICH, M.C.: Základy fotoniky I,II , MATFYZPRESS, Praha, 1994-95.par
dc.rightsVysokoškolská závěrečná práce je autorské dílo chráněné dle zákona č. 121/2000 Sb., autorský zákon, ve znění pozdějších předpisů. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou https://knihovna.tul.cz/document/26cs
dc.rightsA university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act. https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics https://knihovna.tul.cz/document/26en
dc.rights.urihttps://knihovna.tul.cz/document/26
dc.rights.urihttps://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf
dc.subjecttopografiecs
dc.subjectměření topografie povrchucs
dc.subjectwhite-light interferometriecs
dc.subjectvibracecs
dc.subjecttopographyen
dc.subjectsurface topographyen
dc.subjectwhite-light interferometryen
dc.subjectvibrationsen
dc.titleVývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesnostícs
dc.titleDevelopment of methods for surface topography measurement with sub-nanometer accuracyen
dc.typediplomová prácecs
local.degree.abbreviationNavazující
local.degree.disciplineAVI-N
local.degree.programmeAplikované vědy v inženýrství
local.degree.programmeabbreviationN3901
local.department.abbreviationNTI
local.facultyFakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiícs
local.faculty.abbreviationFM
local.identifier.authorM19000182
local.identifier.stag41354
local.identifier.verbis
local.identifier.verbis0ad34c11-c09f-4f3a-a411-ae94c13f9214
local.note.administratorsautomat
local.note.secrecyPovoleno ZverejnitPraci Povoleno ZverejnitPosudky
local.poradovecislo2986
Files
Original bundle
Now showing 1 - 4 of 4
Loading...
Thumbnail Image
Name:
diplomova_prace_M19000182.pdf
Size:
8.2 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
VSKP
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Sedlackova__posudek_vedouciho.pdf
Size:
191.52 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek_vedouciho_VSKP
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Sedlackova__posudek_oponenta.pdf
Size:
627.42 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek_oponenta_VSKP
Loading...
Thumbnail Image
Name:
ProtokolSPrubehemObhajobySTAG.pdf
Size:
20.96 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Prubeh_obhajoby_VSKP