Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností
dc.contributor | Kunc Štěpán, Ing. Ph.D. : 62113 | |
dc.contributor.advisor | Psota Pavel, Ing. Ph.D. : 61197 | |
dc.contributor.author | Sedláčková, Karolína | |
dc.date.accessioned | 2021-08-20T11:11:43Z | |
dc.date.available | 2021-08-20T11:11:43Z | |
dc.date.committed | 2021-5-17 | |
dc.date.defense | 2021-06-17 | |
dc.date.submitted | 2020-10-19 | |
dc.date.updated | 2021-6-17 | |
dc.degree.level | Ing. | |
dc.description.abstract | Cílem práce bylo vyvinout simulační software, který zkoumá vliv vibrací na signál získaný z white-light interferometrie a aplikovat získané dovednosti ve vývoji vývoji nanopozičního měřícího zařízení pracujícího na výše zmíněném principu. Teoretická část je věnována popisu vlastností světla a popisu optických metod pro zkoumání topografie povrchu. Díky popsaným principům bylo možné zlepšit měřící zařízení a zvýšit jeho konkurenceschopnost. | cs |
dc.description.abstract | The aim of the thesis was to create a simulation tool inspecting the influence of vibration to evaluation signal obtained from white-light interferometry. The theoretical part is dedicated to introducing the properties of different illumination sources and describing optical methods for examining surface topography. The knowledge gained while working with the simulation tool was applied to the development of a nanopositioning measuring machine based on the white-light interferometry. The applied approaches led to improving the machine and increasing its competitiveness. | en |
dc.description.mark | ||
dc.format | 66 | |
dc.format.extent | ||
dc.identifier.signature | V 202102986 | |
dc.identifier.uri | https://dspace.tul.cz/handle/15240/160495 | |
dc.language.iso | an | |
dc.relation.isbasedon | par[1] MALACARA, D. Optical shop testing. 3rd ed. Hoboken, N.J.: Wiley-Interscience, c2007. ISBN 0471484040. | |
dc.relation.isbasedon | [2] SALLEH, B. E. A. , TEICH, M.C.: Základy fotoniky I,II , MATFYZPRESS, Praha, 1994-95.par | |
dc.rights | Vysokoškolská závěrečná práce je autorské dílo chráněné dle zákona č. 121/2000 Sb., autorský zákon, ve znění pozdějších předpisů. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou https://knihovna.tul.cz/document/26 | cs |
dc.rights | A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act. https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics https://knihovna.tul.cz/document/26 | en |
dc.rights.uri | https://knihovna.tul.cz/document/26 | |
dc.rights.uri | https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf | |
dc.subject | topografie | cs |
dc.subject | měření topografie povrchu | cs |
dc.subject | white-light interferometrie | cs |
dc.subject | vibrace | cs |
dc.subject | topography | en |
dc.subject | surface topography | en |
dc.subject | white-light interferometry | en |
dc.subject | vibrations | en |
dc.title | Vývoj metod pro měření topografie povrchu se subnanometrovou přesností | cs |
dc.title | Development of methods for surface topography measurement with sub-nanometer accuracy | en |
dc.type | diplomová práce | cs |
local.degree.abbreviation | Navazující | |
local.degree.discipline | AVI-N | |
local.degree.programme | Aplikované vědy v inženýrství | |
local.degree.programmeabbreviation | N3901 | |
local.department.abbreviation | NTI | |
local.faculty | Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií | cs |
local.faculty.abbreviation | FM | |
local.identifier.author | M19000182 | |
local.identifier.stag | 41354 | |
local.identifier.verbis | ||
local.identifier.verbis | 0ad34c11-c09f-4f3a-a411-ae94c13f9214 | |
local.note.administrators | automat | |
local.note.secrecy | Povoleno ZverejnitPraci Povoleno ZverejnitPosudky | |
local.poradovecislo | 2986 |
Files
Original bundle
1 - 4 of 4
Loading...
- Name:
- diplomova_prace_M19000182.pdf
- Size:
- 8.2 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- VSKP
Loading...
- Name:
- Sedlackova__posudek_vedouciho.pdf
- Size:
- 191.52 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Posudek_vedouciho_VSKP
Loading...
- Name:
- Sedlackova__posudek_oponenta.pdf
- Size:
- 627.42 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Posudek_oponenta_VSKP
Loading...
- Name:
- ProtokolSPrubehemObhajobySTAG.pdf
- Size:
- 20.96 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Prubeh_obhajoby_VSKP