dc.contributor	Kůsová Kateřina, RNDr. Ph.D. : 67158
dc.contributor.advisor	Žídek Karel, doc. RNDr. Ph.D. : 65590
dc.contributor.author	Tauchmanová, Martina
dc.date.accessioned	2023-03-16T04:53:53Z
dc.date.available	2023-03-16T04:53:53Z
dc.date.committed	2023-5-22
dc.date.defense	2023-01-31
dc.date.submitted	2021-10-12
dc.date.updated	2023-2-2
dc.degree.level	Ing.
dc.description.abstract	Tenké vrstvy jsou nedílnou součástí optického průmyslu a vědeckých aplikací. Jejich hlavní funkcí je zajistit požadované optické, mechanické a chemické vlastnosti. Zejména ty optické vlastnosti jsou úzce spjaty s tloušťkou samotných vrstev, jejich kvalitou a způsobem a kvalitou nanesení. Proto je věnována značná pozornost následné kontrole a charakterizaci. Existuje řada charakterizačních metod pro měření optických vlastností vrstev, avšak zkoumání jednotlivých rozhraní vrstev je obtížné. Obvykle se totiž jedná o několik nanometrů tenké přechodové vrstvy skryté různě hluboko pod povrchem. Jednou z možností, jaktato rozhraní zkoumat, je použití nástroje ultrarychlé spektroskopie tzv. femtosekundového (fs) sonaru, který je předmětem zkoumání této práce. S využitím fs sonaru, pracujícím na principu excitace a sondování (tzv. pump-probe), bylo provedeno zkoumání tenkých homogenních vrstev oxynitridu křemíku. Analyzované vzorky měly dvouvrstvou strukturu na substrátu křemíku: Ti/SiOxNy/Si a jednotlivé zkoumané vzorky obsahovaly různý poměr kyslíku a dusíku. Byl snímán časový vývoj změny odrazivosti vzorku v závislosti na pozici akustické vlny vyvolané excitačním pulzem o vlnové délce 1028 nm. Sondování bylo realizováno jednak kvazimonochromatickými pulzy s vlnovou délkou 514 nm, tak širokopásmovým superkontinuem s rozsahem přibližně 450-750 nm. V rámci provedených experimentů byl zkoumán vliv vlnové délky sondovacího pulzu na podobu signálu, vliv optického výkonu excitace a ověření generace akustické vlny v Ti vrstvě. Bylo provedeno i poziční měření. Analýza zahrnovala prokládání signálu navrženou funkcí, z čehož mohly být odečteny parametry signálu včetně akustické rychlosti v daném materiálu. Tyto výsledky jsou základním kamenem pro hlubší porozumění šíření akustické vlny tenkými vrstvami a jsou počátkem dalších bádánív této oblasti.	cs
dc.description.abstract	Thin layers are an essential part of the optical industry and science applications. Their main goal is to provide the required optical, mechanical and chemical characteristics. The optical characteristics are significantly influenced by the thickness and quality of the layer as well as the quality of the deposition process. Therefore great attention is given to the characterization of deposited layers.A broad variety of characterization methods is used to measure overall optical performance. However, measuring interfaces between singular layers is extremely difficult. These interfaces are usually only a few nanometers thick and deep below the surface of the sample. One possible way to study these interfaces is the use of ultrafast spectroscopy, namely the femtosecond (fs) sonar, which is the subject of this thesis.The fs sonar employs the pump-probe principle has been used to study homogeneous thin layers of silicon oxynitride. Analyzed samples have a two-layer structure on silicon substrate: Ti/SiOxNy/Si and individual samples had different oxygen-nitrogen ratios. The dynamics of the reflectivity of the sample was studied concerning the position of the acoustic wave created by the pump pulse at the wavelength of 1028 nm. Probing was done by either quazimonochromatic pulses at 514 nm wavelength or broadband supercontinuum with the wavelength range of 450-750 nm. The effect of the probe pulse wavelength and excitation power on the signal has been studied. Acoustic wave generation in the Ti layer has been verified and position scanning has been carried out. The analysis included signal fitting, which allowed for parameter extraction, for example, the acoustic speed in the sample.These results provide a cornerstone for further understanding of acoustic wave propagation through thin layers and set the starting point for further studies in the field.	en
dc.description.mark	1
dc.format	75 s.
dc.format.extent	Ilustrace, Schémata, Grafy, Tabulky
dc.identifier.signature	V 202304752
dc.identifier.uri	https://dspace.tul.cz/handle/15240/167202
dc.language.iso	cs
dc.relation.isbasedon	renewcommandlabelenumi[theenumi] beginarab item Devos, Arnaud. Colored ultrafast acoustics: From fundamentals to applications.~Ultrasonics~56 (2015): 90-97. item Rulliere, Claude.~Femtosecond laser pulses. Springer Science+ Business Media, Incorporated, 2005. item Nagakubo, A., et al. Zero temperature coefficient of sound velocity in vitreous silicon oxynitride thin films.~Applied Physics Letters~114.25 (2019): 251905. endarab
dc.rights	Vysokoškolská závěrečná práce je autorské dílo chráněné dle zákona č. 121/2000 Sb., autorský zákon, ve znění pozdějších předpisů. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou https://knihovna.tul.cz/document/26	cs
dc.rights	A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act. https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics https://knihovna.tul.cz/document/26	en
dc.rights.uri	https://knihovna.tul.cz/document/26
dc.rights.uri	https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf
dc.subject	ultrarychlá spektroskopie	cs
dc.subject	excitace a sondování	cs
dc.subject	fs sonar	cs
dc.subject	vrstvy oxynitridu křemíku	cs
dc.subject	ultrarychlá akustika	cs
dc.subject	ultrafast spectroscopy	en
dc.subject	Pump-Probe	en
dc.subject	fs sonar	en
dc.subject	silicon oxynitride films	en
dc.subject	ultrafast acoustics	en
dc.title	Femtosekundový sonar pro studium tenkých vrstev	cs
dc.title	Femtosecond sonar for thin-film studies	en
dc.type	diplomová práce	cs
local.degree.abbreviation	Navazující
local.degree.discipline	AVI-N
local.degree.programme	Aplikované vědy v inženýrství
local.degree.programmeabbreviation	N3901
local.department.abbreviation	NTI
local.faculty	Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií	cs
local.faculty.abbreviation	FM
local.identifier.author	M20000199
local.identifier.stag	43035
local.identifier.verbis
local.identifier.verbis	kpw06705414
local.note.administrators	automat
local.note.secrecy	Povoleno ZverejnitPraci Povoleno ZverejnitPosudky
local.poradovecislo	4752

Femtosekundový sonar pro studium tenkých vrstev

Files

Original bundle

Collections