Vliv podmínek plazmové depozice na užitné vlastnosti tenkých vrstev na bázi uhlíku

Title Alternative:Effect of plasma deposition conditions on useful properties of thin films based on carbon
Thumbnail Image
Files
V_05014_Mb.pdf(3.64 MB)
Date
2014-01-01
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Description
Subject(s)
Citation
Item identifier
https://dspace.tul.cz/handle/15240/142894
ISSN
ISBN
Collections
Fakulta strojní