Nelineární charakteristiky tenkých piezoelektrických vrstev
Title Alternative:Nonlinear characteristics of piezoelectric thin films
| dc.contributor.author | Radoberský, Tomáš | |
| dc.date | 2007 | |
| dc.date.accessioned | 2018-12-02T08:46:30Z | |
| dc.date.available | 2018-12-02T08:46:30Z | |
| dc.description.abstract | Bakalářské práce se zaobírá studiem a měřením nelineárních charakteristik piezoelektrických tenkých vrstev ZnO s kontinuální strukturou na křemíkovém substrátu. Při různých budicích napěťových signálech vznikají deformace vyvolané inverzním piezoelektrickým jevem, které jsou v desítkách pikometrů. Vlivem těchto deformací vznikají vibrace substrátu, jejichž amplituda je řádově větší, než amplituda piezoelektrického posunutí tenké vrstvy ZnO. Proto byl použit dvoupaprskový laserový interferometr (DBLI), který vliv vibrací substrátu eliminuje a měří pouze piezoelektrické posunutí. Jsou zde uvedeny modifikace DBLI pro měření vzorků s malou plochou horní elektrody. V práci jsou popsány závislosti deformace tenkých vrstev na budicím elektrickém napětí. Tyto charakteristiky mají tvar hysterézních smyček. Dále jsou měřeny frekvenční charakteristiky relativního posunutí při různých hodnotách předpětí aplikovaného na vzorky. | cs |
| dc.description.abstract | This Bachelor thesis deals with research and measurement of nonlinear characteristics of continual ZnO piezoelectric thin films deposited on a silicon substrate. Deformations of thin film induced by inverse piezoelectric effect, which is in order of picometers, are observed when different waveform of electric voltage is applied. Substrate vibrations are produced as a side effect by ZnO thin films piezoelectric deformations and have a higher-order amplitude. Therefore double-beam laser interferometer (DBLI) was used to eliminate influence of substrate vibrations on piezoelectric deformation measurement. Modifications of DBLI are presented with respect to measurement of samples with small top electrode size.Thin film deformation dependencies on applied electric field are described in this work. These characteristics have a hysteretic loop shape. Frequency dependences of relative displacement were observed when different DC bias field were applied to the samples. | en |
| dc.identifier.signature | V 91/07 Mb | |
| dc.identifier.uri | https://dspace.tul.cz/handle/15240/47506 | |
| dc.rights | Vysokoškolská závěrečná práce je autorské dílo chráněné dle zákona č. 121/2000 Sb., autorský zákon, ve znění pozdějších předpisů. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou https://knihovna.tul.cz/document/26 | cs |
| dc.rights | A university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act. https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics https://knihovna.tul.cz/document/26 | en |
| dc.rights.uri | https://knihovna.tul.cz/document/26 | |
| dc.rights.uri | https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf | |
| dc.subject.verbis | piezoelectric phenomena | en |
| dc.subject.verbis | lasery interferometry | en |
| dc.subject.verbis | piezoelektrika | cs |
| dc.subject.verbis | piezoelektrický jev | cs |
| dc.subject.verbis | piezoelektřina | cs |
| dc.subject.verbis | vrstevnaté materiály | cs |
| dc.subject.verbis | interferometrie | cs |
| dc.subject.verbis | lasery | cs |
| dc.subject.verbis | piezoelectricity | en |
| dc.title | Nelineární charakteristiky tenkých piezoelektrických vrstev | cs |
| dc.title.alternative | Nonlinear characteristics of piezoelectric thin films | en |
| dc.type | bakalářské práce | cs |
| local.faculty | cs | |
| local.faculty.abbreviation | BAK | |
| local.identifier.verbis | kpw06327672 | |
| local.note.administrators | Stare VSKP | |
| local.verbis.aktualizace | 2019-10-05 06:38:17 | cs |
| local.verbis.studijniprogram | KFY | cs |