Vlastnosti tenkých uhlíkových vrstev připravovaných metodou PECVD
Title Alternative:Properties of thin carbon films prepared by PECVD
Loading...
Date
2015
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Technická Univerzita v Liberci
Abstract
Cílem této diplomové práce bylo seznámit se a vypracovat podrobnou rešerši dle zadání, dále pak pomocí metody plazmové depozice z plynné fáze (PECVD), vytvořit sérii DLC (Diamond like carbon) vrstev s různou tloušťkou na substrátu z lékařské oceli AISI 316 L. Tyto vrstvy byly následovně podrobeny testu vyluhovatelnosti, při kterém bylo zkoumáno, zda vrstvy působí jako bariéra pro prvky ze substrátu (především pro alergenní Ni). Dále byla zkoumána morfologie a integrita deponovaných vrstev pomocí AFM,SEM a adheze vrstev. Pomocí kalotestu byly zjištěny tloušťky vrstev. U vrstev bylo zjištěno chemické složení povrchu pomocí EDS analýzy. Diplomová práce je členěna na základní části - úvod, teoretickou část, použité experimentální metody a přístroje, výsledky experimentů, diskuzi a závěr.
Description
117 stran :ilustrace +1 CD-ROM
Subject(s)
carbon films, thin films, uhlíkové vrstvy, tenké vrstvy