Vlastnosti tenkých uhlíkových vrstev připravovaných metodou PECVD

Title Alternative:Properties of thin carbon films prepared by PECVD
Thumbnail Image
Files
V_03015_S.pdf(5.04 MB)
Date
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Description
Subject(s)
Citation
Item identifier
https://dspace.tul.cz/handle/15240/149602
ISSN
ISBN
Collections
Fakulta strojní