Plazmové nanášení tenkých vrstev za atmosférických podmínek
Title Alternative:Plasma deposition of thin layers in atmospheric conditions
Loading...
Date
2009
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Technická Univerzita v Liberci
Abstract
My bachelor work is focused on the appliance study of cold plazma discharges and deposition of thin layers. My task is to learn about the problems connected with atmospheric discharge and plasma deposition of thin layers. I need to suggest a device for deposition of thin layers in atmospheric discharge, where applying the thin layers of titanium oxide would take place and to evaluate surface morphology of the layers, fotocatalytic properties and thickness.
Bakalářská práce je zaměřena na studium využití studených plazmových výbojů a depozice tenkých vrstev. Mým úkolem je seznámit se s problematikou atmosférických výbojů a plazmového nanášení tenkých vrstev. Navrhnout zařízení pro depozici tenkých vrstev v atmosférickém výboji, v navrženém zařízení nanést tenké vrstvy oxidů titanu a těchto vrstev vyhodnotit morfologii povrchu, fotokatalytické vlastnosti a tloušťku.
Bakalářská práce je zaměřena na studium využití studených plazmových výbojů a depozice tenkých vrstev. Mým úkolem je seznámit se s problematikou atmosférických výbojů a plazmového nanášení tenkých vrstev. Navrhnout zařízení pro depozici tenkých vrstev v atmosférickém výboji, v navrženém zařízení nanést tenké vrstvy oxidů titanu a těchto vrstev vyhodnotit morfologii povrchu, fotokatalytické vlastnosti a tloušťku.
Description
katedra: KMT; přílohy: 1 CD; rozsah: 60 s., 20 s. příloh
Subject(s)
plasma discharges in atmospheric pressure, titanium oxides, thin layers, plazmové výboje za atmosférického tlaku, oxidy titanu, tenké vrstvy