Interferometrie s řízenou změnou fáze pro měření vlastností planparalelních optických elementů

dc.contributor
dc.contributor.advisor
dc.contributor.authorMatoušek, Ondřej
dc.contributor.otherLédl Vít, Ing. Ph.D. Skolitel : 55721
dc.date2018
dc.date.accessioned2019-03-27T14:22:25Z
dc.date.available2019-03-27T14:22:25Z
dc.date.committed2017-7-14
dc.date.defense2018-9-20
dc.date.submitted2013-7-15
dc.date.updated2018-12-10
dc.degree.levelPh.D.
dc.description.abstractPředkládaná disertační práce je zaměřena na výzkum a vývoj metod interferometrie s řízenou změnou fáze, kdy hlavní důraz je kladen na přesné měření planparalelních optických elementů. Měření tvaru planparalelních elementů je velmi žádoucí, avšak značně problematické z důvodu překrývání několika interferenčních obrazců, které znemožňuje jejich vyhodnocení. Metoda prezentovaná v první části práce je realizována na modifikovaném Fizeau interferometru se dvěma referenčními rovinami. Vhodnou konstrukcí experimentálního uspořádání a použitím lineárního ladění vlnové délky laseru je docíleno oddělitelnosti jednotlivých interferenčních obrazců ve frekvenční oblasti. Jejich vyhodnocením je získán komplexní popis vzorku, a to vše v jediné měřící sekvenci. Výsledkem je nejen informace o tvaru čelních ploch, ale takéo klínovitosti vzorku a informace o vnitřním rozložení indexu lomu. Druhá část práce je zacílena na další rozvoj a optimalizaci metody, a to také s ohledem na budoucí implementaci v průmyslu. S využitím čtveřice laditelných laserových diod byl vyvinut a ověřen postup absolutního měření vzdáleností s přesností srovnatelnou s relativní interferometrií, tedy na zlomky vlnové délky světla. Jedním ze zcela unikátních výstupů je aplikace této metody na měření planparalelních elementů. V závěru práce je úspěšně demonstrováno celoplošné měření absolutní fyzické tloušťky elementu, a to zcela nezávisle na indexu lomu materiálu.cs
dc.description.abstractThis dissertation thesis is focused on the research and development of phase-shifting interferometry where the main emphasis is put on the measurement of plan-parallel optical elements. The measurement of the shape of plan-parallel elements is very desirable but considerably problematic due to overlapping of several interference patterns, making it impossible to evaluate them. The method presented in the first part is performed on a modified Fizeau interferometer with two reference planes. The separability of the individual interference patterns in the frequency domain is achieved by appropriate construction of the experimental arrangement and the use of linear laser wavelength tuning. Their evaluation gives a comprehensive description of the sample in a single measurement sequence. The result provides not only information about the shape of the face surfaces, but also about the sample wedge, and about the internal refractive index distribution. The second part of the thesis is focused on the further development and optimization of the method, with regard to the implementation to the industry. With the use of four tunable laser diodes, the absolute distance measurement procedure is presented and verified with precision comparable to the relative interferometry, which means fractions of a wavelength of light. One of the unique outputs is the application of this method to the measurement of plan-parallel elements. At the end of the thesis a full-scale measurement of the absolute physical thickness of the element, completely independent of the refractive index of the material, is demonstrated.en
dc.formattext
dc.format.extentseznam autorských publikací
dc.identifier.signatureU 995 M
dc.identifier.urihttps://dspace.tul.cz/handle/15240/151794
dc.language.isocs
dc.publisherTechnická Univerzita v Libercics
dc.rightsVysokoškolská závěrečná práce je autorské dílo chráněné dle zákona č. 121/2000 Sb., autorský zákon, ve znění pozdějších předpisů. Je možné pořizovat z něj na své náklady a pro svoji osobní potřebu výpisy, opisy a rozmnoženiny. Jeho využití musí být v souladu s autorským zákonem https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf a citační etikou https://knihovna.tul.cz/document/97cs
dc.rightsA university thesis is a work protected by the Copyright Act. Extracts, copies and transcripts of the thesis are allowed for personal use only and at one?s own expense. The use of thesis should be in compliance with the Copyright Act. https://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf and the citation ethics https://knihovna.tul.cz/document/97en
dc.rights.urihttps://knihovna.tul.cz/document/26
dc.rights.urihttps://www.mkcr.cz/assets/autorske-pravo/01-3982006.pdf
dc.subjectOptické metody měřenícs
dc.subjectinterferometrie s řízenou změnou fázecs
dc.subjectFourierova transformacecs
dc.subjecthomogenita indexu lomucs
dc.subjectabsolutní interferometriecs
dc.subjectOptical measurement methodsen
dc.subjectphase shifting interferometryen
dc.subjectFourier transformen
dc.subjectrefractive index homogeneityen
dc.subjectabsolute interferometryen
dc.subject.verbisinterferometryen
dc.titleInterferometrie s řízenou změnou fáze pro měření vlastností planparalelních optických elementůcs
dc.titlePhase-shifting interferometry for measurement of the property of plan-parallel optical elementsen
dc.typeThesis
dc.typedisertační prácecs
local.degree.disciplineAVI-D
local.degree.programmeAplikované vědy v inženýrství
local.degree.programmeabbreviationP3901
local.department.abbreviationNTI
local.facultyFakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studiícs
local.faculty.abbreviationFM
local.identifier.authorM13000003
local.identifier.stag37958
local.identifier.verbiskpw06570096
local.note.administratorsTrykarovaA
local.verbis.aktualizace2019-10-05 07:26:40cs
local.verbis.studijniprogramNTI Aplikované vědy v inženýrství/Aplikované vědy v inženýrstvícs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 4 of 4
Loading...
Thumbnail Image
Name:
hodnoceni_skolitele.pdf
Size:
379.52 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek_vedouciho_VSKP
Loading...
Thumbnail Image
Name:
dizertace_matousek_0702_2018.pdf
Size:
9.5 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
VSKP
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Oponentni_posudky_na_DisP_Ing._Matouska.pdf
Size:
1.76 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek_oponenta_VSKP
Loading...
Thumbnail Image
Name:
Zapis_o_obhajobe.pdf
Size:
727.9 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Prubeh_obhajoby_VSKP
Collections