Manipulátor pro manipulaci s plochým sklem v ultra vysokém vakuu.
Title Alternative:Manipulator for manipulation of flat glass in ultra high vacuum
Loading...
Date
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Technická Univerzita v Liberci
Abstract
The intention for this design project is to realize automatic manipulation withblank flat glass in vacuum chambers in superior line for flat glass treating by magnetron sputtering of lionized gas elements. This elements create thin layer on glass. The whole requires process require high vacuum and temperature. Necessary condition for this simple manipulation cycle is to secure working vacuum from contamination with air or other contaminated elements which depend on appliance and its drives.
Cílem diplomové práce je zajistit automatickou manipulaci s přířezy plochého skla ve vakuových komorách na lince zušlechťování skla magnetronovým naprašováním částicemi ionizovaného plynu, které na skle vytvářejí tenkou vrstvu. Proces je vázán na vysoké vakuum a je spojen se zvýšenou teplotou. Jednoduchý manipulační cyklus je nutné zvládnout tak, aby nedošlo k ohrožení pracovního vakua parazitní kontaminací vzduchem a dalšími kontaminanty vázanými na zařízení či jeho pohony.
Cílem diplomové práce je zajistit automatickou manipulaci s přířezy plochého skla ve vakuových komorách na lince zušlechťování skla magnetronovým naprašováním částicemi ionizovaného plynu, které na skle vytvářejí tenkou vrstvu. Proces je vázán na vysoké vakuum a je spojen se zvýšenou teplotou. Jednoduchý manipulační cyklus je nutné zvládnout tak, aby nedošlo k ohrožení pracovního vakua parazitní kontaminací vzduchem a dalšími kontaminanty vázanými na zařízení či jeho pohony.
Description
katedra: KSR; přílohy: 1 CD ROM; rozsah: 65 s.
Subject(s)
manipulation, flat glass, magnetron sputtering, manipulace, ploché sklo, magnetronové naprašování