Rok 2019
Permanent URI for this collection
Browse
Browsing Rok 2019 by Author "MTI"
Now showing 1 - 1 of 1
Results Per Page
Sort Options
- ItemStudium vlivu iontového svazku na krystalizaci tenké vrstvy PZT(2019-07-08) Vápenka, David; MTIPředkládaná disertační práce se zabývá studiem vlivu rozbíhavého iontového svazku na krystalickou strukturu nanášené tenké vrstvy zirkoničitanu-titaničitanu olovnatého (angl. Lead Zirconate titanate -- PZT). Iontový svazek je v našem případě produkován běžně komerčně používaným iontovým zdrojem Kaufmannova typu, určeným k čištění a modifikaci vlastností substrátu a rostoucí tenké vrstvy. V práci je postupně popsáno teoretické pozadí problematiky depozice a charakterizace tenkých vrstev PZT. Dále jsou shrnuty výsledky výzkumu prováděného s konvenčním keramickým naprašovacím terčem. Z těch vyplynula nevhodnost tohoto postupu pro účely experimentování s vlivem iontového svazku na rostoucí vrstvu. Ukázalo se, že je nutností mít možnost cíleně ovlivňovat složení vrstvy, což keramický terč neumožňuje. Následně je v práci navrženo originální řešení tohoto problému pomocí segmentového kovového terče. Proveditelnost tohoto řešení je nejprve analyzována simulacemi a následně demonstrována i praktickými experimenty. Na závěr práce se podařilo experimentálně prokázat, že iontový svazek, dopadající na rostoucí PZT vrstvu může zapříčinit snížení teploty nutné k její následné krystalizaci. V našem případě se tímto způsobem podařilo dosáhnout perovskitové struktury již při 500 °C.