Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS

DSpace Repository

Show simple item record

dc.contributor.advisor Vápenka, David
dc.contributor.author Hlubuček, Jiří
dc.date 2016
dc.date.accessioned 2016-11-08
dc.date.available 2016-11-08
dc.date.issued 2016
dc.identifier.uri https://dspace.tul.cz/handle/15240/19184
dc.description 79 stran, 3 strany příloh :tabulky, grafy +1 CD-ROM cs
dc.description.abstract Tato práce přináší ucelený přehled problematiky depozice tenkých vrstev PZT z keramického terče se složením Pb(Zr0,52Ti0,48)O3, metodou IBS a IBAD. Je zaměřena na získání požadovaných vlastností PZT vhodnou kombinací depozičních a post-depozičních parametrů, přičemž je kladen důraz na limity iontových zdrojů pro získání krystalické struktury perovskitového typu.
 Charakterizace naprášených vrstev se provádí na dvou substrátech. Optické sklo BK7 je použito pro přesnější určení tloušťky vrstev, indexu lomu, extinkčního koeficientu, hodnot přímého a nepřímého zakázaného pásu, zatímco leštěný křemíkový substrát je použit pro potřeby post-depozičního žíhání, preciznějšího určení chemického složení (poměru prvků) a klasifikaci krystalické struktury. Je zkoumán vliv depozičních parametrů (výkon primárního iontového zdroje, energie iontů asistenčního iontového zdroje, depoziční teplota, průtoky plynů argonu a kyslíku) a tří různých typů konvenčního žíhání (teplotních gradientů) na výsledné vlastnosti vrstev. Dále je ukázáno, jak titanová mezivrstva ovlivňuje proces krystalizace. Práce se snaží vysvětlit jevy, které nastávají během depozičního a žíhacího procesu při různých procesních parametrech. Na závěr jsou shrnuty výsledky, stanoveny hranice, které omezují použitelnost zkoumaných depozičních technik, představena doporučená nastavení procesních parametrů a navrhnuty další postupy vhodné pro zlepšení procesu krystalizace PZT. cs
dc.format text
dc.language.iso cs
dc.publisher Technická Univerzita v Liberci cs
dc.relation.isreferencedby http://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=33319&typ=1
dc.relation.isreferencedby http://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=33319&typ=2
dc.relation.isreferencedby http://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=33319&typ=3
dc.source.uri http://knihovna-opac.tul.cz/diplomovaPrace.php?id_dipl=33319
dc.subject thin films en
dc.subject ferroelectric materials en
dc.subject tenké vrstvy cs
dc.subject feroelektrické materiály cs
dc.title Příprava tenkých feroelektrických vrstev PZT metodou IBS cs
dc.title.alternative Production of thin ferroelectric PZT layers by IBS method en
dc.type Thesis
dc.degree.level mgr cs
dc.date.defense 2016-06-14
local.faculty Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií cs
local.department MTI cs
dc.identifier.signature V 30/16 M
local.identifier.stag 33319
local.note.administrators oprava_B
local.identifier.verbis kpw06520898
dc.subject.verbis tenké vrstvy cs
dc.subject.verbis feroelektrické materiály cs
dc.subject.verbis thin films en
dc.subject.verbis ferroelectric materials en
local.verbis.aktualizace 2019-10-05 07:28:27 cs
local.verbis.studijniprogram MTI Nanotechnologie/Nanomateriály cs


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace

Advanced Search

Browse

My Account