Hlubuček, Jiří
(Technická Univerzita v Liberci, 2016)
Tato práce přináší ucelený přehled problematiky depozice tenkých vrstev PZT z keramického terče se složením Pb(Zr0,52Ti0,48)O3, metodou IBS a IBAD. Je zaměřena na získání požadovaných vlastností PZT vhodnou kombinací ...