Cena rektora za vynikající magisterskou práci

Permanent URI for this collection

https://dspace.tul.cz/handle/15240/153595

Browse

Browsing Cena rektora za vynikající magisterskou práci by Subject "Ion Beam Sputtering"

Now showing 1 - 1 of 1
  • Thumbnail Image
    Item
    Depozice a charakterizace gradientních tenkých vrstev pro optické pokrytí
    (2019-10-9) Kanclíř, Vít; Žídek Karel, RNDr. Ph.D. : 65590
    Diplomová práce se zabývá tenkými gradientními vrstvami SiOxNy s gradientnímprofilem indexu lomu vytvořenými metodou iontového naprašování (Ion Beam Sputtering) s iontovou asistencí.Teoretická část uvádí do tématiky interference na tenké vrstvě, depozice tenkých vrstev a jejího monitoringu. Dále se zabývá shrnutím dosavadních poznatků v tématu gradientních tenkých vrstev, jejich využití a jejich charakterizace.V experimentální části byla na homogenních vrstvách určena závislost indexulomu deponované vrstvy na průtoku kyslíku asistenčním iontovým dělem. Pro účelyvyhodnocení byl vytvořen skript v MATLAB na fitování modelových elipsometrických a spektrofotometrických spekter do experimentálně změřených spekter. V návaznosti byly deponovány gradientní vrstvy s dvěma různými profily indexu lomu, kde gradient indexu lomu ve vrstvách byl tvořen změnou průtoku kyslíku asistenčním dělem. Porovnání teoretických a experimentálních spekter prokázalo, že vzniklý profil odpovídá průtoku kyslíku v průběhu depozice. Diskutována byla i citlivost výsledků na posunu hodnot profilu indexu lomu při zachování jeho tvaru. Na základě získaných poznatků byly úspěšně deponovány dva úzkopásmové rugate filtry. Jejich výsledná reflektance byla porovnána s očekávanou a byly diskutovány možnosti optimalizace celého procesu.